А  Б  В  Г  Д  Е  Ё  Ж  З  И  Й  К  Л  М  Н  О  П  Р  С  Т  У  Ф  Х  Ц  Ч  Ш  Щ  Ы  Э  Ю  Я

Данилкин Е.В.

Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции. – Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. – Москва, 2008. – 26 с. (С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московского государственного института электронной техники).