Рентгеновский дифрактометр на базе двухкристального топографического спектрометра
Предназначен для измерения параметров шероховатости сверхгладких поверхностей методом рентгеновского рассеяния в условиях скользящего падения (Grazing-incidence small-angle scattering, GISAXS). Источником излучения является рентгеновская трубка для структурного анализа. Трёхщелевая система коллимации позволяет достигать ширины пучка порядка 100 мкм, что необходимо для обеспечения размера области засветки меньше площади поверхности образца во избежание искажений при измерении. Прибор дает возможность получать статистическое распределение параметров шероховатости (Функцию спектральной плотности мощности, Power spectral density, PSD) в диапазоне пространственных частот от 0,05 до 10 обратных микрон. Область достоверного определения эффективных высот шероховатости (погрешность измерения <10%) от 1 до 10 ангстрем.

Дифрактометр с подвижной системой трубка-детектор ДРШ
Представляет собой многоцелевую установку, реализующую измерения как методом рентгеновской рефлектометрии, так и рассеяния в условиях скользящего падения. Широкий диапазон угловых перемещений источника и детектора (от 0 до 40 градусов), отсчет значений углов по индуктивным датчикам с точностью до 1,5 угловых секунд обеспечивает прецизионные измерения параметров приповерхностных слоев, различных тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины и границ раздела. Неподвижное горизонтальное положение образца в процессе измерения позволяет изучать не только твердотельные образцы, но и поверхности жидких сред.

Станция рентгеновского малоуглового рассеяния HECUS SYSTEM 3 (Центр коллективного пользования "Структурная диагностика материалов" ИК РАН).

Многоцелевой малоугловой рентгеновский дифрактометр АМУР-К