А  Б  В  Г  Д  Е  Ё  Ж  З  И  Й  К  Л  М  Н  О  П  Р  С  Т  У  Ф  Х  Ц  Ч  Ш  Щ  Ы  Э  Ю  Я

Громов Д.Г.

Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС. – Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. – Москва, 2000. – 40 с. (С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московского института электронной техники).