А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ы Э Ю Я
Борун А.Ф.
Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота. – Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. – Москва, 1995. – 30 с. (С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московского института электронной техники).