А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ы Э Ю Я
Боднарь О.Б.
Теоретические и экспериментальные исследования диффузии бора и фосфора в приповерхностной области ионно-легированного кремния. – Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. – Москва, 1997. – 26 с. (С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московской государственной академии приборостроения и информатики).