
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ы Э Ю Я
Аникин А.В.
Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций. – Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. – Москва, 2006. – 16 с. (С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке МГТУ им. Н.Э. Баумана).