А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ы Э Ю Я
Авдиенко А.А.
Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров. – Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук.