А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ы Э Ю Я
Громов Д.Г.
Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС. – Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. – Москва, 2000. – 40 с. (С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Московского института электронной техники).